OpTool 提供针对不同基板材质 (如：硅、玻璃、抗蚀剂/光刻胶… 等) 的抗粘剂/防粘剂。其可通过蒸涂、喷涂、浸涂…等方式涂布。

Optool 主要抗粘剂/防粘剂：

OP-NTF：其为一种氟化硅酮 (F13)，用于基板/模板的抗粘/防粘。基板/模板的材质可以是硅、玻璃… 等。

OP-F17G163：其为一种氟化硅氧烷，旋涂于硅、玻璃、镍或抗蚀剂等材料基板/模板上。涂层厚度在 2-25nm 范围内，具体取决于应用的工艺。

欢迎您随时来电 +46 (0) 46 80222 或来信 info@optool.se 询问进一步相关信息。