纳米压印覆膜装置

覆膜装置以真空吸附固定基板或晶圆，它还支持将载体薄膜层压在基板或晶圆上。

特殊硬度的滚轮，使之拥有高精度的贴合及脱模，避免结构变形。

该装置便于手动使用，对于初学者或刚启始的专案来说，此简单快速的工序可以提供非常好的工作及实验结果。

覆膜装置标准尺寸为 4 英寸、6 英寸、8 英寸 SEMI 标准晶圆，其他尺寸的覆膜装置也可以轻松制作。

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标准聚合物模制造工序

Place the stamp on the chuck.

Laminate the carrier foil on stamp.

UV-curing the polymer-stamp material.

Delaminate the carrier foil from stamp. Now the polymer-stamp is ready to use.

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