奈米壓印覆膜裝置

覆膜裝置以真空吸附固定基板或晶圓,它還支持將載體薄膜層壓在基板或晶圓上。

特殊硬度的滾輪,使之擁有高精度的貼合及脫模,避免結構變形。

該裝置便於手動使用,對於初學者或初始的奈米實驗來說,此簡單快速的工序可以提供非常好的工作及實驗結果。

覆膜裝置標準尺寸為 4 英吋、6 英吋、8 英吋 SEMI 標準晶圓,其他尺寸的覆膜裝置也可以輕鬆製作。

歡迎您隨時來電 +46 (0) 46 80222 或來信 info@optool.se 詢問進一步相關資訊。

聚合物模標準製造工序

Place the stamp on the chuck.

Laminate the carrier foil on stamp.

UV-curing the polymer-stamp material.

Delaminate the carrier foil from stamp. Now the polymer-stamp is ready to use.

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